十級潔淨氮氣櫃產(chǎn)品應(yīng)用：

適合半導(dǎo)體前端單晶矽製程中矽片及晶圓盒的存放,防止矽片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由於大部分的存儲櫃或者是氮氣櫃設(shè)計都為全封閉環(huán)境，隻控製濕度及氧含量濃度這塊，並無自淨功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。鬆鑫潔淨櫃則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵汙染的物品.

相關(guān)技術(shù)指標： 

1）潔淨等級

專業(yè)高效潔淨過濾裝置，材質(zhì)采用進口PTFE,確保潔淨櫃內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空櫃或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實驗

即存放在潔淨櫃內(nèi)經(jīng)過乾燥2小時的矽片不能有不正?；虺瑯朔殿w粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試後總數(shù)平均數(shù)與原有矽片顆粒數(shù)對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空櫃或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮氣流量不大於70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大於30min；

4) 進口無塵風機：采用進口無塵室專用FFU風機，麵風速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘餘值測定鬆鑫全功能潔淨氮氣櫃（選配）

潔淨氮氣櫃內(nèi)放置的矽片盒，經(jīng)過乾燥2小時後，矽片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）櫃內(nèi)風速均勻性

潔淨櫃內(nèi)有氮氣的無死角，可使用風速測定儀來檢測內(nèi)部矽片放置各點的風速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控，在潔淨櫃在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

十級潔淨氮氣櫃主要特點：

一、規(guī)格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供訂製)

1、材質(zhì)：SUS304雙鏡麵

2、工作電壓：220V

3、溫濕度顯示器精度：相對濕度±3%Rh，溫度±1℃ 

二、主要特色

RSD-COL-2M係列是集快速降濕、除塵、氮氣節(jié)約功能於一體的無塵室儲存設(shè)備。

潔淨氮氣櫃產(chǎn)品說明：

*控製方式：采用濕度/氧含量控製的方法。

*高潔淨過濾器FFU采用美國等進口知名品牌。

*靜音離心風機采用德國等進口知名品牌。

*采用高品質(zhì)靜電消除裝置。

*對氮氣進行前期潔淨預(yù)處理。

*采用雙數(shù)顯式控製器，對箱內(nèi)濕度或含氧量進行顯示和控製。設(shè)備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風。

*設(shè)備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控製,高潔淨過濾器受阻等多個係統(tǒng).

*控製儀可選配置進行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實時顯示,存儲和輸出和報警功能。

不鏽鋼潔淨型有四項主要特色：

1、模組化設(shè)計：本機器采用獨特的模組化設(shè)計，溫濕度顯示器、控製係統(tǒng)、除塵係統(tǒng)及除靜電係統(tǒng)均能快速更換，保養(yǎng)及維修簡便，大大提升維護效率。

2、彈性設(shè)計：整臺設(shè)備現(xiàn)有除濕、除塵、防靜電、氮氣節(jié)約、數(shù)據(jù)收集和聲光警報功能均可依據(jù)客戶需求配置。

3、簡易的操作：在完成濕度目標值設(shè)定後，RSD-COL係列各功能獨立性強，開關(guān)按鍵設(shè)置簡潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。

4、**性設(shè)計：內(nèi)置雙重抗乾擾設(shè)計，可有效解決相鄰高壓設(shè)備帶來的乾擾和因操作不當導(dǎo)致的電器部件損毀問題。

*型號RSD-COL-2M潔淨氮氣櫃/不鏽鋼潔淨氮氣櫃/十級潔淨氮氣櫃/10級潔淨氮氣櫃標準。

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